【機能性薄膜およびその形成法に関する研究】

　機能性薄膜、特に金属酸化物薄膜は、光触媒、高誘電率、透明導電性等のユニークな特性を持っている。このような背景のもと、金属酸化物を電気分解の電極として用いることにより、水質浄化や空気浄化に有効な活性酸素種を高効率に生成することを見出し、最適な金属酸化物の見極め、機能発現メカニズムの解明に取り組んでいる。
 　また、上記薄膜の形成法として、スパッタ法、陽極酸化法、湿式法などに注目し、最適な形成条件とその原因の検討を行っている。