著作(論文等)
論文名
著者名
掲載誌名等
掲載年月
巻
号
開始頁
終了頁
出版者(日本語)
出版者(英語)
発表形態
概要
Basic information
Name
KANEDA Kazuhiro
論文名
Synchrotron Radiation-Excited Etching of W, Ta and Their Oxide Films
著者名
S. Terakado, K. Kaneda, S. Suzuki, K. Tanaka
掲載誌名等
APPLIED PHYSICS LETTERS
掲載年月
1994-05
巻
64
号
開始頁
1045
ENG
終了頁
1047
出版者(日本語)
出版者(英語)
発表形態
学術論文(学術雑誌)
概要
