著作(論文等)
論文名
著者名
掲載誌名等
掲載年月
巻
号
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出版者(日本語)
出版者(英語)
発表形態
概要
Basic information
Name
KANEDA Kazuhiro
論文名
Soft X-ray Stimulated Etching Reaction in the SF6/SiO2 Adsorption System Studied by Neutral Products Detection
著者名
H. Ikeura, K. Tanaka, T. Sekiguchi, K. Obi, K. Kaneda, O. Kitamura
掲載誌名等
ICPPA-1
掲載年月
1993-10
巻
 
号
 
開始頁
 
 
終了頁
 
出版者(日本語)
 
出版者(英語)
 
発表形態
プロシーディングス(その他)
概要