著作(論文等)

Basic information

Name KANEDA Kazuhiro

論文名

Soft X-ray Stimulated Etching Reaction in the SF6/SiO2 Adsorption System Studied by Neutral Products Detection

著者名

H. Ikeura, K. Tanaka, T. Sekiguchi, K. Obi, K. Kaneda, O. Kitamura

掲載誌名等

ICPPA-1

掲載年月

1993-10

 

 

開始頁

 

 

 

終了頁

 

出版者(日本語)

 

出版者(英語)

 

発表形態

プロシーディングス(その他)

概要