著作(論文等)

Basic information

Name KANEDA Kazuhiro

論文名

Pattern Replication Accuracy in 1:1 SR Lithography

著者名

T. Tanaka, M. Futagami, M. Morigami, K. Okada, S. Fujiwara, Y. Yamaoka, M. Harada, K. Kaneda, J. Nishino, S. Suzuki

掲載誌名等

MICROELECTRONIC ENGINEERING

掲載年月

1993-01

21

 

開始頁

71

 

ENG

終了頁

76

出版者(日本語)

 

出版者(英語)

 

発表形態

学術論文(学術雑誌)

概要