学会発表

Basic information

Name KANEDA Kazuhiro

発表題目

マイクロ波で活性化したガスを用いたSiCの放射光励起エッチング

代表発表者名

*

共同発表者名

小倉正義、寺門伸悟、北村修、金田和博、後藤隆、鈴木茂雄、田中健一郎

学会・会議名

第9回PFシンポジウム

発表形態

ENG

発表開始年月

1992-01-14

　

 

発表終了年月

 

概要