学会発表
発表題目
代表発表者名
共同発表者名
学会・会議名
発表形態
発表開始年月
発表終了年月
概要
Basic information
Name
KANEDA Kazuhiro
発表題目
マイクロ波で活性化したガスを用いたSiCの放射光励起エッチング
代表発表者名
寺門伸悟
共同発表者名
寺門伸悟、北村修、小倉正義、金田和博、後藤隆、鈴木茂雄、田中健一郎
学会・会議名
電気学会(電子・情報・システム部門)全国大会
発表形態
ENG
発表開始年月
1991-09-15
 
発表終了年月
 
概要