学会発表

Basic information

Name KANEDA Kazuhiro

発表題目

高融点金属およびその酸化物薄膜の放射光励起エッチング

代表発表者名

寺門伸悟

共同発表者名

寺門伸悟、北村修、小倉正義、金田和博、後藤隆、鈴木茂雄、田中健一郎

学会・会議名

第51回応用物理学会学術講演会

発表形態

ENG

発表開始年月

1990-09-22

　

 

発表終了年月

 

概要