学会発表

Basic information

Name KANEDA Kazuhiro

発表題目

FIB-UVハイブリット露光によるリフトオフパターン形成

代表発表者名

小林俊一

共同発表者名

小林俊一、清水竜、藤原秀二、金田和博、鈴木茂雄

学会・会議名

第49回応用物理学会学術講演会

発表形態

ENG

発表開始年月

1988-03-29

 

 

発表終了年月

 

概要