特許

基本情報

氏名 永田 寅臣
氏名(カナ) ナガタ フサオミ
氏名(英語) NAGATA Fusaomi

発明等の名称

研磨装置及び研磨方法

出願番号

特許第4216557号

公開番号

 

概要

特許第4216557号 「研磨装置及び研磨方法」 、登録日:平成20年11月14日、発明者:津田邦博、安田仁徳、永田寅臣、楠本幸裕、渡辺桂吾