学会発表

基本情報

氏名 大嶋　伸明
氏名（カナ） オオシマ　ノブアキ
氏名（英語） OSHIMA Nobuaki

発表題目

アトム窒化処理における試料バイアス電位の影響

代表発表者名

*

共同発表者名

大嶋 伸明，原 民夫

学会・会議名

第72 回応用物理学会学術講演会

発表形態

ポスター発表

発表開始年月

2011/09/01

　

～

発表終了年月

2011/09/01

概要