著作(論文等)
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基本情報
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| 氏名 | 金田 和博 |
| 氏名（カナ） | カネダ カズヒロ |
| 氏名（英語） | KANEDA Kazuhiro |
| 所属 | 山陽小野田市立山口東京理科大学共通教育センター |
| 職名 | 教授 |
| researchmap研究者コード | |
| researchmap機関 |
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学術論文(学術雑誌)
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1994/05
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APPLIED PHYSICS LETTERS
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Synchrotron Radiation-Excited Etching of W, Ta and Their Oxide Films
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S. Terakado, K. Kaneda, S. Suzuki, K. Tanaka
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64
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～
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1047
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