著作(論文等)
|
|
基本情報
|
| 氏名 | 金田 和博 |
| 氏名（カナ） | カネダ カズヒロ |
| 氏名（英語） | KANEDA Kazuhiro |
| 所属 | 山陽小野田市立山口東京理科大学共通教育センター |
| 職名 | 教授 |
| researchmap研究者コード | |
| researchmap機関 |
 |
学術論文(学術雑誌)
|
1994/03
|
APPLIED SURFACE SCIENCE
|
Soft X-ray Stimulated Etching Reaction in the SF6/SiO2 Adsorption System Studied by Neutral Products Detection
|
H. Ikeura, K. Tanaka, T. Sekiguchi, K. Obi, K. Kaneda, O. Kitamura
|
79/80
|
|
62
|
～
|
65
|
|
|