著作(論文等)

基本情報

氏名 金田 和博
氏名(カナ) カネダ カズヒロ
氏名(英語) KANEDA Kazuhiro
所属 山陽小野田市立山口東京理科大学共通教育センター
職名 教授
researchmap研究者コード
researchmap機関

発表形態

学術論文

掲載年月

1989/06

掲載誌名等

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS

論文名

Attempt at LSI Pattern Demagnification by Bragg Reflection

著者名

J. Nishino, M. Morigami, M. Harada, S. Terakado, S. Kobayashi, S. Fujiwara, K. Kaneda, T. Goto, R. Shimizu, S. Suzuki

巻

60

号

開始頁

1253

 

~

終了頁

1256

出版者(日本語)

出版者(英語)

概要