学会発表
発表題目
代表発表者名
共同発表者名
学会・会議名
発表形態
発表開始年月
発表終了年月
概要
基本情報
氏名
金田 和博
氏名（カナ）
カネダ カズヒロ
氏名（英語）
KANEDA Kazuhiro
所属
山陽小野田市立山口東京理科大学共通教育センター
職名
教授
researchmap研究者コード
researchmap機関
発表題目
タングステン酸化物薄膜の放射光励起エッチング
代表発表者名
金田和博
共同発表者名
金田和博、寺門伸悟、鈴木茂雄、田中健一郎
学会・会議名
第54回応用物理学会学術講演会
発表形態
口頭発表（一般）
発表開始年月
1993/09/20
発表終了年月
概要
