学会発表
発表題目
代表発表者名
共同発表者名
学会・会議名
発表形態
発表開始年月
発表終了年月
概要
基本情報
氏名
金田 和博
氏名（カナ）
カネダ カズヒロ
氏名（英語）
KANEDA Kazuhiro
所属
山陽小野田市立山口東京理科大学共通教育センター
職名
教授
researchmap研究者コード
researchmap機関
発表題目
縮小型X線リソグラフィー(Ⅱ)
代表発表者名
森上光章
共同発表者名
森上光章、原田光昭、小林俊一、藤原秀二、寺門伸悟、小倉正義、北村修、金田和博、後藤隆、清水竜、鈴木茂雄、前沢秀樹、安藤正海
学会・会議名
日本放射光学会第3回年会
発表形態
口頭発表（一般）
発表開始年月
1990/04/26
発表終了年月
概要
