FIB-UVハイブリット露光によるリフトオフパターン形成集束イオンビームによる酸化物超伝導薄膜DC-SQUIDの作製
湯浅良寛
湯浅良寛、中尾昌夫、藤原秀二、金田和博、鈴木茂雄、水上敦夫
第35回応用物理関係連合講演会