著作(論文等)

Basic information

Name KANEDA Kazuhiro

論文名

New Fabrication Technique by Synchrotron Radiation-Excited Etching

著者名

S. Terakado, T. Goto, M. Ogura, K. Kaneda, O. Kitamura, S. Suzuki, K. Tanaka

掲載誌名等

APPLIED PHYSICS LETTERS

掲載年月

1994-08

巻

64

号

 

開始頁

1659

　

ENG

終了頁

1661

出版者(日本語)

 

出版者(英語)

 

発表形態

学術論文(学術雑誌)

概要