著作(論文等)
|
|
New Fabrication Technique by Synchrotron Radiation-Excited Etching
S. Terakado, T. Goto, M. Ogura, K. Kaneda, O. Kitamura, S. Suzuki, K. Tanaka
APPLIED PHYSICS LETTERS
1994/08
64
1659
～
1661
学術論文(学術雑誌)
|
