研究者情報
基本情報
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主な研究課題
所属
研究分野
研究経歴
研究職歴
委員歴/役員歴
学位
出身大学
研究情報
著作(論文等)
著書
学会発表
その他業績
特許
受賞歴
学会活動
客員教授
researchmap研究分野
産学連携情報
共同研究テーマ
教育情報
学識経験
シーズ集
シーズ集URL
基本情報
氏名
金田 和博
氏名(カナ)
カネダ カズヒロ
氏名(英語)
KANEDA Kazuhiro
基本情報
研究者基本情報
金田 和博 カネダ カズヒロ KANEDA Kazuhiro
主な研究課題
【機能性薄膜およびその形成法に関する研究】
機能性薄膜、特に金属酸化物薄膜は、光触媒、高誘電率、透明導電性等のユニークな特性を持っている。このような背景のもと、金属酸化物を電気分解の電極として用いることにより、水質浄化や空気浄化に有効な活性酸素種を高効率に生成することを見出し、最適な金属酸化物の見極め、機能発現メカニズムの解明に取り組んでいる。 また、上記薄膜の形成法として、スパッタ法、陽極酸化法、湿式法などに注目し、最適な形成条件とその原因の検討を行っている。
所属
山口東京理科大学 共通教育センター 教授
研究分野
酸化物、薄膜 metal oxide, thin film
研究経歴
1986 ~ 2003 LSIに関する研究に従事 Engaged in research on Large scale integrated circuit
2003 ~ 2008 電気分解によるオゾン生成に関する研究に従事 Engaged in research on ozone generation by electrolysis
2008 ~ 2009 ニオブ電解コンデンサに関する研究に従事 Engaged in research on niobium capacitor
2009 ~ 2010 薄膜太陽電池に関する研究に従事 Engaged in research on Si thin film solar cell
研究職歴
1989 ~ 2011 三洋電機株式会社 研究開発本部 主任研究員 Senior staff, headquaters of R&D SANYO Eletric
2011 ~ 2015 山口東京理科大学 工学部 准教授 Associate Professor, Faculty of Engineering Tokyo University of Science, Yamaguchi
2015 ~ 現在 山口東京理科大学 工学部 教授 Professor, Faculty of Engineering Tokyo University of Science, Yamaguchi
委員歴/役員歴
2003 ~ 2003 国際半導体技術ロードマップ委員会/Committee member of International Technology Roadmap for Semiconductors 委員
2014 ~ 現在 理窓技術士会 運営委員会委員
2014 ~ 現在 重松工業株式会社 非常勤技術顧問
2015 ~ 現在 公益社団法人日本技術士会中国本部 応用理学部会幹事
学位
東京理科大学 Tokyo University of Science 物性I Physical properties I 博士(理学) Doctor(Science)
出身大学
東京理科大学 Tokyo University of Science 理学部 Faculty of Science 応用物理学科 Department of Applied Physics 大学 卒業
東京理科大学 Tokyo University of Science 理学研究科 Graduate School, Division of Natural Science 物理学専攻 Department of Physics 博士課程 修了
研究情報
著作(論文等)
Current-Voltage Characteristics and Energy Band Structure of Interfaces between Niobium Oxide and Metals 3rd International Workshop on Green Innovation 2014/03
Frictional characteristics on sliding at tristearin surfaces with fractal dimensions 3rd International Workshop on Green Innovation 2014/03
ELECTRICAL PROPERTIES AND ENERGY BAND STRUCTURE OF INTERFACES BETWEEN NIOBIUM OXIDE AND METALS The 24th International Symposium on Transport Phenomena 2013/11
Sliding friction on solid surfaces with fractal structure The 24th International Symposium on Transport Phenomena 2013/11
酸化タンタルを触媒層とする電解オゾン生成用電極 電気評論社 2011/03 96 3 45 ~ 48
全て表示する(43件)
n-Type TiO2 Thin Films for Electrochemical Ozone Production JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY 2010/10 157 F30 ~ F36
Spectrophotometric Quantification of Peroxone ANALYTICAL LETTERS 2010/08 43 73 ~ 76
Ex situ and in situ characterization studies of spin-coated TiO2 film electrodes for the electrochemical ozone production process ELECTROCHIMICA ACTA 2009/10 55 31 ~ 35
Development of Spin-coated Si/TiOX/Pt/TiOX Electrodes for the Electrochemical Ozone Production APPLIED SURFACE SCIENCE 2009/08 255 8458 ~ 8461
酸化タンタルを触媒とした高効率オゾン生成電極 Ozone News in Japan 2009/05 3 4 ~ 6
A Tantalum Oxide Electrode for Electrochemical Ozone Generation ECS Transactions 2008/06 6 33 ~ 38
Electrochemical Ozone Generation by a Zirconium Oxide Electrode Fabricated by Sputtering 6th Spring Meeting of the International Society of Electrochemistry 2008/05
Simultaneous Spectrophotometric Determination of Ozone and Hydrogen Peroxide Cairo University International Conference on Biannual Chemistry Conference 2008/04
酸化タンタルと白金の混合物絶縁体をコートしたチタン電極による電解オゾン生成 三洋電機技報 2008/03 38 39 ~ 44
Simultaneous Spectrophotometric Determination of Ozone and Hydrogen Peroxide CHEMISTRY LETTERS 2007/09 36 1396 ~ 1398
Superior Electrocatalysis of Spin-coated Titanium Oxide Electrodes for the Electrochemical Ozone Production CHEMISTRY LETTERS 2007/06 36 806 ~ 808
A Tantalum Oxide Electrode for Electrochemical Ozone Generation 211th ECS Meeting 2007/05
A Spin-coated Si/TiOX/Pt/TaOX Electrode for Electrochemical Ozone Generation CHEMISTRY LETTERS 2007/05 36 806 ~ 808
Enhanced Hydrogen Adsorption/Desorption Characteristic of Ta2O5-coated Pt Electrode Prepared by Electrodeposition of Ta and the Subsequent Calcination CHEMISTRY LETTERS 2007/04 36 572 ~ 574
Si/TiOX/Pt/TaOX Electrodes Fabricated by Sputtering for Electrochemical Ozone Generation JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2006/09 145 6417 ~ 6420
Electrochemical ozone generation using a Si/Pt/TaOx electrode fabricated by RF sputtering TOCAT5 2006/07
Electrochemical treatment of human urine for its strage and reuse as flush water SCIENCE OF THE TOTAL ENVIRONMENT 2006/07 382 159 ~ 163
Ozone electrogeneration at a high current efficiency using a tantalum oxide/platinum composite electrode ELECTROCHEMISTRY COMMUNICATIONS 2006/05 8 1263 ~ 1266
Ti/Pt/(Pt-TaOx) electrode fabricated by thermal decomposition and Si/Pt/TaOx fabricated by sputtering for ozone generation JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2006/05 45 5154 ~ 5160
Electrolytic Treatment of Human Urine to Remove Nitrogen and Phosphorus CHEMISTRY LETTERS 2006/02 35 576 ~ 578
A novel electrode for ozone generation CHEMISTRY LETTERS 2005/08 34 1320 ~ 1322
Electronic Structure in the Valence Band of Nd-Substituted Bi4Ti3O12 Single Crystal Probed by Soft-X-Ray Emission Spectroscopy JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 2005/07 44 1491 ~ 1494
Ozone Generation by a TaOx and Pt Composite Insulator-Coated Ti Electrode ELECTROCHEMICAL AND SOLID STATE LETTERS 2005/05 8 J13 ~ J16
New Fabrication Technique on a Submicrometer Scale by Synchrotron Radiation Excited Etching JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 1995/06 44 2175 ~ 2178
New Fabrication Technique by Synchrotron Radiation-Excited Etching APPLIED PHYSICS LETTERS 1994/08 64 1659 ~ 1661
Synchrotron Radiation-Excited Etching of W, Ta and Their Oxide Films APPLIED PHYSICS LETTERS 1994/05 64 1045 ~ 1047
Soft X-ray Stimulated Etching Reaction in the SF6/SiO2 Adsorption System Studied by Neutral Products Detection APPLIED SURFACE SCIENCE 1994/03 79/80 62 ~ 65
Soft X-ray Stimulated Etching Reaction in the SF6/SiO2 Adsorption System Studied by Neutral Products Detection ICPPA-1 1993/10
Pattern Replication Accuracy in 1:1 SR Lithography MICROELECTRONIC ENGINEERING 1993/01 21 71 ~ 76
Pattern Replication Accuracy in 1:1 SR Lithography Microcircuit Engineering '92 1992/08
Synchrotron Radiation-Excited Etching of SiC Under the Existence of Reactive Species Produced by Microwave Discharge STSRP(Int. Workshop Science and Technology for Surface Reaction Process) 1992/03
Physical Properties of Tungsten Oxide Films Deposited by a Reactive Sputtering Method JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 1991/07 30 1941 ~ 1844
Attempt at LSI Pattern Demagnification by Bragg Reflection REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 1989/06 60 1253 ~ 1256
DC-AQUID'S Made from High-Tc Superconducting Oxide Thin Films Using Focused Ion Beam Processes FED HiTcSc-ED Workshop 1988/06
Magnetic Susceptibility of Li1+XTi2-XO4 Doped with Vanadium JOURNAL OF THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN 1987/09 56 2853 ~ 2856
Electrical Resistivity of YFe2O4 JOURNAL OF THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN 1986/10 55 3181 ~ 3184
Seebeck Coefficient of YFe2O4 at Lower Transition Temperature JOURNAL OF THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN 1985/12 54 4089 ~ 4092
Semiconductor Properties of Li1.1Ti1.9O4 JOURNAL OF THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN 1984/09 53 2437 ~ 2440
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著書
 
学会発表
スパッタ法により形成した酸化ジルコニウム電極による電解オゾン生成 ポスター発表 第15回液晶研究所・第12回先進材料研究所合同シンポジウム 2015/03/09 ~ 2015/03/09
山口県山陽小野田市における大気中粒子状物質分析 ポスター発表 日本分析化学会第62年会 2013/09/10 ~ 2013/09/12
スパッタ法を用いたTiO2薄膜電極による電解オゾン生成 口頭発表(一般) 電気化学秋季大会 2009/09/10
スピンコートを用いたTiO2薄膜電極による電解オゾン生成 口頭発表(一般) 電気化学秋季大会 2009/09/10
Nbコンデンサにおけるリーク電流発現機構の評価 口頭発表(一般) 表面技術協会 第119回大会 2009/03/16
全て表示する(78件)
熱処理温度がNbコンデンサの静電容量、バイアス特性および漏れ電流に及ぼす影響 口頭発表(一般) 表面技術協会 第119回大会 2009/03/16
酸化タンタル電極によるアセトアルデヒドの分解 口頭発表(一般) 室内環境学会 平成19年度総会 2008/12/01
スパッタ法により形成した酸化ジルコニウム電極による電解オゾン生成 口頭発表(一般) 日本オゾン協会第18回年次研究講演会 2008/05/26
分光光度法を用いたオゾンと過酸化水素の同時定量方法の開発 口頭発表(一般) 日本オゾン協会第18回年次研究講演会 2008/05/26
スパッタ法により形成した酸化ジルコニウム電極による電解オゾン生成 口頭発表(一般) 電気化学会第75回大会 2008/03/29
スピンコート法によるZrOx薄膜を塗布した電解用オゾン生成電極 口頭発表(一般) 電気化学会第75回大会 2008/03/29
酸化タンタル電極を用いた難分解性物質の分解(その2) 口頭発表(一般) 電気化学会第75回大会 2008/03/29
スパッタ法により形成した酸化ジルコニウム電極による電解オゾン生成 口頭発表(一般) 表面技術協会 第117回大会 2008/03/12
スピンコート法により作製したSi/TiOx/Pt/ZrOx電極によるオゾン生成 口頭発表(一般) 表面技術協会 第117回大会 2008/03/12
焼成型酸化タンタル電極において溶媒種と焼成温度が電極性能に与える影響 口頭発表(一般) 表面技術協会 第117回大会 2008/03/12
Bioelectrochemistry of Molecular Oxygen and Reactive Oxygen Species 156. Electrocatalytic Enhancement of Ozone Electrogeneration on Spin-Coated Titanium Oxide Electrodes 口頭発表(一般) 2007年 電気化学秋季大会 2007/09/19
Ta2O5被覆白金電極における水素原子のスピルオーバー・逆スピルオーバー現象 口頭発表(一般) 2007年 電気化学秋季大会 2007/09/19
スパッタ法により形成した金属酸化物電極による電解オゾン生成 口頭発表(一般) 2007年 電気化学秋季大会 2007/09/19
焼成型オゾン電極において溶媒種と焼成温度がオゾン生成能に与える影響 口頭発表(一般) 2007年 電気化学秋季大会 2007/09/19
酸化タンタル電極による難分解性物質の分解 口頭発表(一般) 2007年 電気化学秋季大会 2007/09/19
電解オゾン、過酸化水素の生成とその測定方法 口頭発表(一般) 2007年 電気化学秋季大会 2007/09/19
スパッタ法により作製した酸化タンタル電極による電解オゾン生成 口頭発表(一般) 表面技術協会 第116回大会 2007/09/18
焼成型オゾン電極のオゾン生成能に与える溶媒種と焼成温度の影響 口頭発表(一般) 表面技術協会 第116回大会 2007/09/18
酸化タンタル電極による酢酸の分解 口頭発表(一般) 表面技術協会 第116回大会 2007/09/18
金属酸化物薄膜を塗布した電極による電解オゾン、過酸化水素の生成とその測定方法 口頭発表(一般) 表面技術協会 第116回大会 2007/09/18
酸化タンタル系電極による電解オゾン生成 口頭発表(一般) 日本オゾン協会第17回年次研究講演会 2007/06/14
金属酸化物薄膜を塗布した電極による電解オゾン生成とその測定方法 口頭発表(一般) 日本オゾン協会第17回年次研究講演会 2007/06/14
酸化タンタル系電極による電解オゾン生成 口頭発表(一般) 電気化学会第74回大会 2007/03/29
金属酸化物を塗布したオゾン生成用電極 口頭発表(一般) 電気化学会第74回大会 2007/03/29
酸化タンタル系電極による電解オゾン生成 口頭発表(一般) 表面技術協会 第115回大会 2007/03/07
電解による金属酸化物を塗布したオゾン生成用電極 口頭発表(一般) 表面技術協会 第115回大会 2007/03/07
金属酸化被覆の電極による活性酸素種同時生成能について 口頭発表(一般) 表面技術協会 第114回大会 2006/10/13
電解オゾン生成用電極の開発2 口頭発表(一般) 表面技術協会 第114回大会 2006/10/13
スパッタ法により作製したSi / Pt / TaOx電極によるオゾン生成(3) 口頭発表(一般) 2006年 電気化学秋季大会 2006/09/14
金属酸化物を被覆した電極の活性酸素種同時生成能について 口頭発表(一般) 2006年 電気化学秋季大会 2006/09/14
スパッタ法により作製したSi/Pt/TaOx電極によるオゾン生成 口頭発表(一般) 日本オゾン協会第16回年次研究講演会 2006/06/08
スパッタ法により作製したSi/Pt/TaOx電極によるオゾン生成(2) 口頭発表(一般) 電気化学会第73回大会 2006/04/01
酸素・活性酸素種の生物電気化学138溶融塩電解によるTa2O5-PtOx電極の作製およびオゾンの電解生成 口頭発表(一般) 酸素・活性酸素種の生物電気化学138溶融塩電解によるTa2O5-PtOx電極の作製およびオゾンの電解生成 2006/04/01
スパッタ法により作製したオゾン発生用Si / Pt / TaOx電極 口頭発表(一般) 第40回日本水環境学会年会 2006/03/15
電解を用いた人尿リサイクル 口頭発表(一般) 第40回日本水環境学会年会 2006/03/15
電解オゾン生成用電極の開発 口頭発表(一般) 表面技術協会 第113回大会 2006/03/15
酸化タンタル-白金をコートしたTi電極を用いた電気化学的オゾン生成 口頭発表(一般) 第8回日本水環境学会シンポジウム 2005/09/12
酸化タンタル-白金混合絶縁体を被覆したチタン電極によるオゾン生成 ポスター発表 日本オゾン協会第15回年次研究講演会 2005/09/12
スパッタ法により作製したSi/Pt/TaOx電極によるオゾン生成 口頭発表(一般) 2005年 電気化学秋季大会 2005/09/08
酸素・活性酸素種の生物電気化学 135.PtOx-Ta2O5電極によるオゾンの電解生成 口頭発表(一般) 2005年 電気化学秋季大会 2005/09/08
酸化タンタル-白金混合絶縁体を被覆したチタン電極によるオゾン発生 口頭発表(一般) 電気化学会第72回大会 2005/04/01
MBE法によるBi層状強誘電体薄膜の作製 口頭発表(一般) 第56回応用物理学会学術講演会 1995/09/15
SF6/SiO2吸着系における内殻励起エッチング反応 ポスター発表 第11回PFシンポジウム 1994/01/17
タングステン酸化物薄膜の放射光励起エッチング -光強度依存性 ポスター発表 第11回PFシンポジウム 1994/01/17
タングステン酸化物薄膜の放射光励起エッチング 口頭発表(一般) 第54回応用物理学会学術講演会 1993/09/20
内殻励起によるSF6/SiO2表面でのエッチング反応 口頭発表(一般) 日本化学会 分子構造総合検討会 1993/07/20
非接触マスクを用いたSR励起エッチングによるサブミクロン加工 口頭発表(一般) 第53回応用物理学会学術講演会 1992/09/10
FIBによるX線マスクの作製 口頭発表(一般) 第39回応用物理関係連合講演会 1992/03/22
等倍SR露光法における転写精度の検討 口頭発表(一般) 第39回応用物理関係連合講演会 1992/03/22
高融点金属酸化物薄膜の放射光励起エッチング 口頭発表(一般) 第39回応用物理関係連合講演会 1992/03/22
透過型マスクを用いたSR励起エッチングによるサブミクロン加工 ポスター発表 第10回PFシンポジウム 1992/01/15
高融点金属酸化物薄膜の放射光励起エッチング ポスター発表 第10回PFシンポジウム 1992/01/15
Siの単色光励起エッチング ポスター発表 第9回PFシンポジウム 1992/01/14
マイクロ波で活性化したガスを用いたSiCの放射光励起エッチング ポスター発表 第9回PFシンポジウム 1992/01/14
マイクロ波で活性化したガスを用いたSiCの放射光励起エッチング 口頭発表(一般) 電気学会(電子・情報・システム部門)全国大会 1991/09/15
Siの放射光励起エッチング 口頭発表(一般) 日本放射光学会第4回年会 1991/04/23
SiCの放射光励起エッチング -波長依存性- 口頭発表(一般) 第38回応用物理関係連合講演会 1991/03/18
Siの放射光励起エッチング -波長依存性- 口頭発表(一般) 第38回応用物理関係連合講演会 1991/03/18
Siの放射光励起エッチング ポスター発表 第8回PFシンポジウム 1991/01/16
Siの放射光励起エッチング(Ⅱ) 口頭発表(一般) 第51回応用物理学会学術講演会 1990/09/22
スパッタ法により形成した酸化タングステン膜の特性 口頭発表(一般) 第51回応用物理学会学術講演会 1990/09/22
高融点金属およびその酸化物薄膜の放射光励起エッチング 口頭発表(一般) 第51回応用物理学会学術講演会 1990/09/22
縮小型X線リソグラフィー(Ⅱ) 口頭発表(一般) 日本放射光学会第3回年会 1990/04/26
高融点金属およびその酸化物薄膜の放射光励起エッチング 口頭発表(一般) 日本放射光学会第3回年会 1990/04/26
SiCの放射光励起エッチング 口頭発表(一般) 第37回応用物理関係連合講演会 1990/03/26
縮小型X線リソグラフィー(Ⅱ) ポスター発表 第7回PFシンポジウム 1990/01/17
Siの真空紫外光励起エッチング 口頭発表(一般) 第50回応用物理学会学術講演会 1989/03/24
TiOxのドライエッチング耐性 口頭発表(一般) 第50回応用物理学会学術講演会 1989/03/24
イオンビームレジストTiOxの露光特性 口頭発表(一般) 第50回応用物理学会学術講演会 1989/03/24
FIB-UVハイブリット露光によるリフトオフパターン形成集束イオンビームによる酸化物超伝導薄膜DC-SQUIDの作製 口頭発表(一般) 第35回応用物理関係連合講演会 1988/09/19
FIB-UVハイブリット露光によるリフトオフパターン形成 口頭発表(一般) 第49回応用物理学会学術講演会 1988/03/29
縮小型X線リソグラフィー 口頭発表(一般) 第49回応用物理学会学術講演会 1988/03/29
集束イオンビームによるSEBRの感度特性 口頭発表(一般) 第49回応用物理学会学術講演会 1988/03/29
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その他業績
 
特許
 
受賞歴
 
学会活動
半導体技術ロードマップ専門委員会 フロントエンドプロセスプロセス担当 International Technology Roadmap for Semiconductors 2003/04/01 ~ 2004/03/31
SPring-8産業用専用ビームライン建設利用共同体 BL-16B2担当 1997/04/01 ~ 1999/03/31
客員教授
 
researchmap研究分野
薄膜・表面界面物性 Thin film and surface interface physical properties
産学連携情報
共同研究テーマ
 
教育情報
学識経験
2015 山陽小野田市学校教育研究会 平成27年度山陽小野田市小・中学校児童生徒科学研究発表会講師
2015 重松工業株式会社 非常勤技術顧問
2014 公益社団法人日本技術士会中国本部 公益社団法人日本技術士会中国本部応用理学部会 幹事
2014 山陽小野田市学校教育研究会 平成26年度山陽小野田市小・中学校児童生徒科学研究発表会講師
2014 重松工業株式会社 非常勤技術顧問
全て表示する(6件)
2014 長崎工業技術センター 機能性薄膜技術研究会に係る講師
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シーズ集
シーズ集URL
http://www.tusy.ac.jp/uploads/images/tusy_profile_40.pdf