学会発表

基本情報

氏名 金田　和博
氏名（カナ） カネダ　カズヒロ
氏名（英語） KANEDA Kazuhiro

発表題目

Siの放射光励起エッチング

代表発表者名

北村修

共同発表者名

北村修、寺門伸悟、小倉正義、金田和博、森上光章、鈴木茂雄、田中健一郎

学会・会議名

日本放射光学会第4回年会

発表形態

口頭発表（一般）

発表開始年月

1991/04/23

　

 

発表終了年月

 

概要