学会発表

基本情報

氏名 金田　和博
氏名（カナ） カネダ　カズヒロ
氏名（英語） KANEDA Kazuhiro

発表題目

透過型マスクを用いたSR励起エッチングによるサブミクロン加工

代表発表者名

*

共同発表者名

寺門伸悟、後藤隆、金田和博、小倉正義、北村修、鈴木茂雄、田中健一郎

学会・会議名

第10回PFシンポジウム

発表形態

ポスター発表

発表開始年月

1992/01/15

　

 

発表終了年月

 

概要