学会発表
発表題目
代表発表者名
共同発表者名
学会・会議名
発表形態
発表開始年月
発表終了年月
概要
基本情報
氏名
金田 和博
氏名（カナ）
カネダ カズヒロ
氏名（英語）
KANEDA Kazuhiro
発表題目
縮小型X線リソグラフィー
代表発表者名
鈴木茂雄
共同発表者名
鈴木茂雄、西野潤一、森上光章、原田光昭、小林俊一、金田和博、小島隆、藤原秀二、安藤正海
学会・会議名
第49回応用物理学会学術講演会
発表形態
口頭発表（一般）
発表開始年月
1988/03/29
発表終了年月
概要
