学会発表

基本情報

氏名 金田　和博
氏名（カナ） カネダ　カズヒロ
氏名（英語） KANEDA Kazuhiro

発表題目

内殻励起によるSF6/SiO2表面でのエッチング反応

代表発表者名

池浦広美

共同発表者名

池浦広美、田中健一郎、関口哲弘、小尾欣一、金田和博、北村修

学会・会議名

日本化学会　分子構造総合検討会

発表形態

口頭発表（一般）

発表開始年月

1993/07/20

　

 

発表終了年月

 

概要