学会発表

基本情報

氏名 金田　和博
氏名（カナ） カネダ　カズヒロ
氏名（英語） KANEDA Kazuhiro

発表題目

SF6/SiO2吸着系における内殻励起エッチング反応

代表発表者名

*

共同発表者名

池浦広美、関口哲弘、小尾欣一、金田和博、北村修、田中健一郎

学会・会議名

第11回PFシンポジウム

発表形態

ポスター発表

発表開始年月

1994/01/17

　

 

発表終了年月

 

概要