学会発表

基本情報

氏名 金田　和博
氏名（カナ） カネダ　カズヒロ
氏名（英語） KANEDA Kazuhiro

発表題目

イオンビームレジストTiOxの露光特性

代表発表者名

金田和博

共同発表者名

金田和博、後藤隆、藤原秀二、鈴木茂雄

学会・会議名

第50回応用物理学会学術講演会

発表形態

口頭発表（一般）

発表開始年月

1989/03/24

　

 

発表終了年月

 

概要