学会発表
発表題目
代表発表者名
共同発表者名
学会・会議名
発表形態
発表開始年月
発表終了年月
概要
基本情報
氏名
金田 和博
氏名（カナ）
カネダ カズヒロ
氏名（英語）
KANEDA Kazuhiro
発表題目
スパッタ法により形成した酸化タングステン膜の特性
代表発表者名
金田和博
共同発表者名
金田和博、鈴木茂雄
学会・会議名
第51回応用物理学会学術講演会
発表形態
口頭発表（一般）
発表開始年月
1990/09/22
発表終了年月
概要
