学会発表

基本情報

氏名 金田　和博
氏名（カナ） カネダ　カズヒロ
氏名（英語） KANEDA Kazuhiro

発表題目

等倍SR露光法における転写精度の検討

代表発表者名

田中稔彦

共同発表者名

田中稔彦、森上光章、藤原秀二、山岡義和、原田光昭、金田和博、西野潤一、鈴木茂雄

学会・会議名

第39回応用物理関係連合講演会

発表形態

口頭発表（一般）

発表開始年月

1992/03/22

　

 

発表終了年月

 

概要