学会発表
発表題目
代表発表者名
共同発表者名
学会・会議名
発表形態
発表開始年月
発表終了年月
概要
基本情報
氏名
金田 和博
氏名（カナ）
カネダ カズヒロ
氏名（英語）
KANEDA Kazuhiro
発表題目
Siの真空紫外光励起エッチング
代表発表者名
寺門伸悟
共同発表者名
寺門伸悟、北村修、小倉正義、原田光昭、金田和博、森上光章、鈴木茂雄、田中健一郎、千川純一
学会・会議名
第50回応用物理学会学術講演会
発表形態
口頭発表（一般）
発表開始年月
1989/03/24
発表終了年月
概要
