学会発表

基本情報

氏名 金田　和博
氏名（カナ） カネダ　カズヒロ
氏名（英語） KANEDA Kazuhiro

発表題目

非接触マスクを用いたSR励起エッチングによるサブミクロン加工

代表発表者名

寺門伸悟

共同発表者名

寺門伸悟、後藤隆、金田和博、北村修、小倉正義、藤原秀二、鈴木茂雄、田中健一郎

学会・会議名

第53回応用物理学会学術講演会

発表形態

口頭発表（一般）

発表開始年月

1992/09/10

　

 

発表終了年月

 

概要