学会発表

Basic information

Name KANEDA Kazuhiro

発表題目

内殻励起によるSF6/SiO2表面でのエッチング反応

代表発表者名

池浦広美

共同発表者名

池浦広美、田中健一郎、関口哲弘、小尾欣一、金田和博、北村修

学会・会議名

日本化学会 分子構造総合検討会

発表形態

ENG

発表開始年月

1993-07-20

 

 

発表終了年月

 

概要