学会発表

Basic information

Name KANEDA Kazuhiro

発表題目

非接触マスクを用いたSR励起エッチングによるサブミクロン加工

代表発表者名

寺門伸悟

共同発表者名

寺門伸悟、後藤隆、金田和博、北村修、小倉正義、藤原秀二、鈴木茂雄、田中健一郎

学会・会議名

第53回応用物理学会学術講演会

発表形態

ENG

発表開始年月

1992-09-10

　

 

発表終了年月

 

概要