学会発表

Basic information

Name KANEDA Kazuhiro

発表題目

スパッタ法により形成した酸化タングステン膜の特性

代表発表者名

金田和博

共同発表者名

金田和博、鈴木茂雄

学会・会議名

第51回応用物理学会学術講演会

発表形態

ENG

発表開始年月

1990-09-22

 

 

発表終了年月

 

概要