学会発表

Basic information

Name KANEDA Kazuhiro

発表題目

Siの真空紫外光励起エッチング

代表発表者名

寺門伸悟

共同発表者名

寺門伸悟、北村修、小倉正義、原田光昭、金田和博、森上光章、鈴木茂雄、田中健一郎、千川純一

学会・会議名

第50回応用物理学会学術講演会

発表形態

ENG

発表開始年月

1989-03-24

　

 

発表終了年月

 

概要