学会発表

Basic information

Name KANEDA Kazuhiro

発表題目

縮小型X線リソグラフィー

代表発表者名

鈴木茂雄

共同発表者名

鈴木茂雄、西野潤一、森上光章、原田光昭、小林俊一、金田和博、小島隆、藤原秀二、安藤正海

学会・会議名

第49回応用物理学会学術講演会

発表形態

ENG

発表開始年月

1988-03-29

 

 

発表終了年月

 

概要