学会発表

Basic information

Name OSHIMA Nobuaki

発表題目

アトム窒化処理における試料バイアス電位の影響

代表発表者名

*

共同発表者名

大嶋 伸明,原 民夫

学会・会議名

第72 回応用物理学会学術講演会

発表形態

ENG

発表開始年月

2011-09-01

 

ENG

発表終了年月

2011-09-01

概要