学会発表
発表題目
代表発表者名
共同発表者名
学会・会議名
発表形態
発表開始年月
発表終了年月
概要
Basic information
Name
OSHIMA Nobuaki
発表題目
アトム窒化処理における試料バイアス電位の影響
代表発表者名
*
共同発表者名
大嶋 伸明,原 民夫
学会・会議名
第72 回応用物理学会学術講演会
発表形態
ENG
発表開始年月
2011-09-01
ENG
発表終了年月
2011-09-01
概要