著作(論文等)

基本情報

氏名 吉村 敏彦
氏名(カナ) ヨシムラ トシヒコ
氏名(英語) YOSHIMURA Toshihiko

論文名

“ATOM-PROBE MICROCHARACTERIZATION OF NATIVE OXIDE ON SILICON”

著者名

T. Yoshimura, Y. Ishikawa

掲載誌名等

Solid-State Electronics, Supplement

掲載年月

1990/01

 

 

開始頁

321

 

 

終了頁

 

出版者(日本語)

 

出版者(英語)

 

発表形態

学術論文(学術雑誌)

概要