特許

Basic information

Name NAGATA Fusaomi

発明等の名称

研磨装置及び研磨方法

出願番号

特許第4216557号

公開番号

 

概要 

特許第4216557号 「研磨装置及び研磨方法」 、登録日：平成20年11月14日、発明者：津田邦博、安田仁徳、永田寅臣、楠本幸裕、渡辺桂吾